O₂ + C ----- CO + CO₂

利用氧氣和鈀碳纖維在催化作用下反應生成一氧化碳及二氧化碳的原理，氮氣中的殘氧在裝有高效的鈀碳纖維的除氧器中反應，去除氧雜質，再經過冷卻、吸附兩級干燥除水，得到高純氮氣。除氧核心部件為鈀碳纖維，鈀碳纖維中起催化作用的是鈀等貴金屬。

● 純氣中不含氫，適合于產品氮氣中無氫的環境

● 原理簡單，結構合理，能耗低

● 氣體指標溫度，雜質含量低

● 可選配自動系統，實現無人值守

● 應用范圍廣，對原料氣無特殊要求

普通氮氣：

● 壓力—— 0.6~0.7Mpa(可調)
● 常壓露點——≤－40℃
● 氧含量——≤1%
● 處理氣量——10～5000Nm³/h 
高純氮氣：
● 壓力—— 0.5~0.6Mpa (可調)
● 常壓露點——≤－70℃
● 氧含量——≤3ppm
● 氫含量——無
● 氮氣量——10～5000Nm³/hr
● 注：原料氣更高氧含量和露點，需考慮分級除氧除水。建議使用時普氮氧含量≤0.1%，這樣可以大大降低碳脫氧劑的消耗，降低使用成本。